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horiba IGS氣體質(zhì)量流量計(jì)Z517/Z527MGX IGS接口,EtherCat通訊 小量程0-2sccm,大量程0-50SLM 高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號(hào)輸出:0-5VDC,可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議
更新日期:2024-10-14horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z552/Z562MGX 小量程0-100SLM,大量程0-500SLM 高精度:2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.) 模擬信號(hào)輸出:0-5VDC,可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議
更新日期:2024-11-14horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542$n$n小量程0-20sccm,大量程0-200SLM$n高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模擬信號(hào)輸出:0-5VDC,可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議
更新日期:2024-11-19horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z524/Z534/SEC-Z514$n$n小量程0-2sccm,大量程0-50SLM$n高精度:1.0% S.P. (25-100% F.S.); 0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n數(shù)字通訊:DeviceNet
更新日期:2024-11-19horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z512$n$n小量程0-2sccm,大量程0-50SLM$n高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模擬信號(hào)輸出:0-5VDC,可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議
更新日期:2024-11-19SEC-N112系列特點(diǎn):1、直接測(cè)量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量2、工作穩(wěn)定可靠3、適應(yīng)的流體介質(zhì)面寬4、廣泛的應(yīng)用環(huán)境5、多種實(shí)時(shí)在線測(cè)控功能6、可擴(kuò)展性好
更新日期:2024-11-19Horiba質(zhì)量流量計(jì) SEC-8000 高精度 ±1.0% 設(shè)定點(diǎn) 高速響應(yīng) 超潔凈設(shè)計(jì) 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
更新日期:2024-04-02Horiba質(zhì)量流量計(jì) SEC-Z500X 高精度 ±1.0% 設(shè)定點(diǎn) 該質(zhì)量流量控制器的線性度由多項(xiàng)式近似曲線補(bǔ)償,并實(shí)現(xiàn)在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實(shí)際氣體精度,不同工藝氣體的標(biāo)定數(shù)據(jù)由 HORIBA STEC 公司的標(biāo)準(zhǔn)氣體測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量。 高速響應(yīng) 裝配“可變 PID 系統(tǒng)”,可在任意兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)之間實(shí)現(xiàn) 1 秒響應(yīng)??勺?PID 根據(jù)流量點(diǎn)設(shè)置不斷變化。在滿量程
更新日期:2024-04-02horiba流量計(jì)SEC-Z700S可以直接測(cè)量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量,測(cè)量精度為0.2級(jí),流體測(cè)量管內(nèi)部無(wú)障礙物和活動(dòng)部件,因而可靠性高、壽命長(zhǎng)。
更新日期:2024-11-19Horiba SEC-Z700質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z714MGX-CS屬于高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器,是半導(dǎo)體中設(shè)備CVD機(jī)臺(tái)、Etch機(jī)臺(tái)中的氣體控制核心部件
更新日期:2024-11-15CONTACT
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