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簡要描述:UR-Z724M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z724中的暢銷款,控制該壓力控制器前端的壓力。控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar, Devicenet數(shù)字通訊消除后端壓力波動(dòng)對(duì)前端腔體壓力的影響(入口控制型)
UR-Z724M-B horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z724
控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar, 數(shù)字通訊
暢銷型號(hào):UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。
UR-Z724M-B是UR-Z700中的一款,控制該壓力控制器前端的壓力。
UR-Z700系列是高性能自動(dòng)壓力控制閥配備電子調(diào)節(jié)閥,帶有高精度壓力傳感器和高分辨率、快速響應(yīng)的壓電閥。根據(jù)接收到的外部控制信號(hào)控制壓力。
UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、支持模擬輸出和RS485通訊
UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B 支持DeviceNet™ 通訊模式。
horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z724
horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z724
產(chǎn)品性能:
· 分兩種應(yīng)用:入口控制型(-M-B 型)和出口控制型
· 消除大流量氣路切換引起的串?dāng)_影響(出口控制型)
· 快速響應(yīng):0.5 秒內(nèi)
· 靈活的設(shè)計(jì):可以安裝在任何位置,適用于各種氣體供應(yīng)系統(tǒng)
· 進(jìn)氣壓力多種選擇:表壓、絕對(duì)壓力
· 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)(UR-Z704 系列)
· 超潔凈:全金屬結(jié)構(gòu)
horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z712
參數(shù)表
產(chǎn)品背面圖
產(chǎn)品安裝孔圖
周邊產(chǎn)品
Horiba品牌介紹
HORIBA是全球著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。
暢銷型號(hào)
數(shù)字型質(zhì)量流量控制器: SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGM、SEC-Z532MG、SEC-Z542MG、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z544MG、SEC-Z712MGX、SEC-Z722MGM、SEC-Z732MG、SEC-Z714MGX、SEC-Z724MGM、SEC-Z734MG、
低成本數(shù)字型質(zhì)量流量控制器:SEC-N112MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N114MGM、SEC-N124MGM、SEC-N134MGM、SEC-N116MGM、SEC-N126MGM、SEC-N117MGM、SEC-N127MGM
模擬型質(zhì)量流量控制器:SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541。
液體質(zhì)量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO、
液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M。
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